熱式質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的一款可直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量的儀表。通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的。氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。
儀器測(cè)得的質(zhì)量流量等同于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量，其質(zhì)量流量單位表示為SCCM (每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升) 或SLM (每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指壓力為一個(gè)大氣壓(101325Pa)、溫度為0℃。 產(chǎn)品出廠時(shí)一般用氮?dú)鈽?biāo)定。用戶使用其它氣體時(shí)，可以用說(shuō)明書(shū)中提供的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行讀數(shù)修正，或提出根據(jù)使用氣體進(jìn)行轉(zhuǎn)換標(biāo)定，如果可行的話，也可以要求我公司以實(shí)際使用的氣體進(jìn)行標(biāo)定。
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、氧氣、氮?dú)狻錃狻⒙葰饧岸嘟M分氣體測(cè)量。（乙炔氣體除外）。
2、高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣測(cè)量。
3、煙道氣測(cè)量。
4、沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測(cè)量。
5、壓縮空氣測(cè)量。
6、天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測(cè)量。
7、電廠高爐的一次風(fēng)、二次風(fēng)流量測(cè)量。
8、礦井下通風(fēng)或排風(fēng)系統(tǒng)流量測(cè)量。
熱式質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用廣泛，準(zhǔn)確度高，其價(jià)格也高，這就要求對(duì)其精心維護(hù)，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的振動(dòng)及使用條件進(jìn)行經(jīng)常檢查等，以保證準(zhǔn)確度及儀表的安全。儀表使用過(guò)程中在使用條件下有必要進(jìn)行準(zhǔn)確的零點(diǎn)標(biāo)定，儀器屬于在線使用的高準(zhǔn)確度測(cè)量?jī)x表，零點(diǎn)的漂移對(duì)測(cè)量結(jié)果有影響，長(zhǎng)期使用時(shí)一定要定期進(jìn)行標(biāo)定。要避免超過(guò)使用儀表范圍的情況發(fā)生，這會(huì)引起儀表測(cè)量準(zhǔn)確度的下降，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致儀表?yè)p壞。例如由于超過(guò)儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會(huì)使檢測(cè)線圈損壞而使儀表無(wú)法再使用。平時(shí)在使用熱式質(zhì)量流量計(jì)的時(shí)候，應(yīng)防止人為斷電和拆線。采取斷電和拆信號(hào)線的辦法使流量計(jì)短時(shí)間不計(jì)量，從而造成計(jì)量糾紛，此類(lèi)問(wèn)題應(yīng)引起注意。解決辦法是有儀表箱的上鎖，專(zhuān)人負(fù)責(zé)管理。
